


| Diâmetro do moinho (D) | Φ200 |
|---|---|
| Diâmetro do eixo (d) | Φ30 |
| Tipo de calha | Em forma de U |
| Malha (#) | 800#, 1200# |
| Objeto de processamento | Wafers de carboneto de silício de 6 e 8 polegadas |
| Velocidade do equipamento (r) | 28.000 r/min |
| Taxa de alimentação (vf) | 200-400 mm/min |
| Quantidade de moagem (ae) | 0,3-0,5 mm |